真空ポンプ故障予知システム

本システムは、真空ポンプの負荷に関係するパラメータを集中監視し、独自のトレンド管理手法を使って故障を予知・予告するものです。
エッチャーやCVD装置で使用される真空ポンプの突発故障を防止し、仕掛製品のスクラップ防止に貢献します。
また、稼働時間を管理することで定期メンテナンス時期を予告することも可能です。


システム表示画面

システム表示画面


特徴

  • メーカーや種類を問わず、あらゆるポンプの一元管理が可能です。
  • 電流、電力、温度、背圧等、多彩なパラメータを自由に選択できるため、ポンプの性状に合った監視が可能です。
  • ミリsecレベルの高速サンプリングにより、堆積物吸い込み時のスパイク波形を見逃しません。
  • リンクユニット単位(4点/台)で延長接続できるため、予算に応じた増設、拡張が可能です。(1システムで最大120点まで接続可能。)
  • 多種のトレンド管理手法を選択できるため、キメの細かい変動管理が可能です。
  • 起動/停止を繰り返すポンプのために、定常運転時と起動時を分けて管理することも可能です。
  • オプションとして、アラームが発生した時に装置等へ次ロット投入禁止の信号を出力する機能があります。
  • 同じシステム内でヒーターの劣化(抵抗値)を監視することも可能です。

システム構成


システム構成図

基本仕様

  • 監視点数:・最大120点(リンクユニット30台×4点/台)
  • 接続距離:・PC~末端のリンクユニット 最長1.2km(RS485規格)
     ・リンクユニット~センサー 最長5m
  • 警報出力:・「注意1」、「注意2」、「注意3」の3段階
     ・PC画面へ、時刻,警報種別,該当パラメータを自動表示
     ・信号灯やブザーやメールによる通知
  • 管理機能:・平均値、ピーク値、最大値、最頻値、瞬時値
     ・絶対値管理、上昇率管理、連続上昇管理、発生頻度管理
  • 表示機能:・トレンドグラフ(時間軸:1週間、1ヶ月、半年、1年)
     ・設定画面(シキイ値自動設定機能あり)
     ・警報履歴
  • 保存機能:・CSVデータ自動保存

アラーム検出事例

負荷が徐々に増加するパターン



スパイク波形が頻発するパターン


スパイク波形が頻発するパターン

お問い合わせ

製造事業本部 産業事業部 装置設計部
TEL 050-8802-3090


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