プローバーステージ冷却ユニット

ウエハテスト工程において高温テストから常温テストに切り替える際、冷却時間が長く生産効率を低下させています。
本ユニットは、プローバーステージから吸収した熱をファンで放熱するもので、自然冷却に比べ大幅な時間短縮を可能にし、装置の稼働率向上に貢献します。


プローバーステージ冷却ユニット

プローバーステージ冷却ユニット


特徴

  • 独自設計により冷却効率が良く、自然冷却に比べて冷却時間を1/8~1/9に短縮できます。(下図参照)
  • 軽量・コンパクトですので、持ち運びも簡単です。
  • 専用保管台により、ユニットのステージ接触面を保護します。

仕様

  • 本体寸法:φ6インチ×143mmH φ8インチ×173mmH
  • 重量:φ6インチ用:約2kg φ8インチ用:約3kg
  • 入力:AC100V

改善事例


プローバステージ温度冷却データ

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製造事業本部 産業事業部 装置設計部
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