定期メンテナンス実施時期予告システム

概要

  • 本システムは、プロセスガスが流れている時間を圧力センサにより取り出し、これを管理項目ごとに積算管理して定期メンテナンス時期をお知らせするものです。
  • ガスを使用するプロセス(拡散、成膜、エッチング等)の装置停止時間削減や、保全費用削減に貢献します。

特徴

  • 実際のプロセス積算時間を管理するため、装置の稼働率に応じてメンテナンス周期を調整することが可能です。
  • 1システムで最大120台を一元管理でき、また1台あたり6項目まで設定できるため、効率の良いメンテナンス管理が可能です
  • リンクユニット単位(4台/ユニット)で延長接続できるため、予算に応じた増設、拡張が可能です。

仕様

  • 接続台数:・最大120台(リンクユニット30台×4台/ユニット)
  • 接続距離:・PC~末端のリンクユニット 最長1.2km(RS485規格)
     ・リンクユニット~センサー 最長5m
  • 警報出力:・PC画面へ、アラーム情報を自動表示
     ・信号灯やブザーやメールによる通知
  • 管理項目:・装置1台あたり最大6項目(セルフクリーニング、ポート交換、内/外管交換、等)
  • 表示機能:・積算時間表示グラフ
     ・メンテナンス時期予告グラフ
     ・交換履歴グラフ
     ・積算状況一覧表(膜種類、管理項目ごとの選択表示)
  • 保存機能:・過去3ヶ月分の積算値
     ・1000件分の警報履歴、交換履歴

管理画面


管理画面イメージ

管理画面イメージ

全体構成


構成図

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