拡散炉ヒーター劣化予知システム

本システムは、拡散炉のヒーター抵抗値を監視し、アラームを発報するものです。
ヒーターの劣化による製品スクラップの防止や、交換頻度延長によるメンテナンス費用削減に貢献します。

特徴

  • メーカーや種類を問わず、あらゆるヒーターの一元管理が可能です。
  • リンクユニット単位(4点/台)で延長接続できるため、予算に応じた増設、拡張が可能です。(1システムで最大120点まで接続可能。)
  • オプションとして、アラームが発生した時に装置等へ次ロット投入禁止の信号を出力する機能があります。
  • 同じシステム内で真空ポンプの劣化状況を監視することも可能です。

システム構成


システム構成図

基本仕様

  • 監視点数:・最大120点(リンクユニット30台×4点/台)
  • 接続距離:・PC~末端のリンクユニット 最長1.2km(RS485規格)
     ・リンクユニット~センサー 最長5m
  • 警報出力:・「注意1」、「注意2」、「注意3」の3段階
     ・PC画面へ、時刻,警報種別,該当パラメータを自動表示
     ・信号灯やブザーやメールによる通知
  • 管理機能:・平均値、ピーク値
     ・絶対値管理、上昇率管理、連続上昇管理、発生頻度管理
  • 表示機能:・トレンドグラフ(時間軸:1週間、1ヶ月、半年、1年)
     ・設定画面(シキイ値自動設定機能あり)
     ・警報履歴
  • 保存機能:・CSVデータ自動保存

監視事例


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