CMP研磨パッド磨耗量監視ユニット

概要

CMP工程では、ドレッサーの寿命が近づくにつれドレスレートが低下して来るため、ウエハ処理枚数に基づく研磨パッド交換頻度管理では研磨パッドの使い残しが発生します。
本ユニットは上記の無駄を排除するため、研磨パッドの摩耗量を装置稼動状態にてリアルタイムで自動測定、監視するものです。
摩耗量が設定値に到達すると警報を発報(ランプ点灯・ブザー鳴動)し、研磨パッドの交換時期が来たことを自動的に知らせます。

特徴

  • 装置を稼働状態のまま自動測定できるため、生産のロスや測定の手間を省けます。
  • リアルタイムで精度良く定量化できるため、研磨パッドを限界まで使い切ることが可能で、コスト削減に大きく貢献します
  • また、突発性異常摩耗による品質不良の回避や、プロセス/材料改善評価の負担軽減にも効果があります。
  • 非接触式で測定するため、異物や汚染の心配もありません。

基本仕様

  • 接続距離:・変位センサー~制御ユニット 最長5m
  • センサー:・レーザー変位センサー
  • 測定精度:・±50μm
  • 入力:・AC100V
  • 出力:・ランプ、ブザーによる警報
     ・アナログ信号(0~5V、4~20mA)

ユニット構成



お問い合わせ

製造事業本部 産業事業部 装置設計部
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