チップデータ修正システム

本システムは、ウエハテスト後の外観検査工程において、検査前のマップデータをモニタ画面に表示し、顕微鏡で検査中のチップ位置を画面を見ながら確認し、データを修正するものです。
転記シートを使ってチップ位置を確認する方法に比べ、作業工数の削減や作業ミス防止に効果があります。


システム外観

システム外観


特徴

  • 現在使用中の顕微鏡を流用できるため、低コストで導入できます。
  • データ修正作業は、該当チップを顕微鏡の中心に合わせ、テンキーを押すだけの簡単作業です。
  • ロット情報(キーNo,チップNo)のバーコード入力が可能です。
  • 高分解能のセンサーを使用しているため、小チップにも対応できます。
  • 上位システムと接続し、マップデータを取り込んだり、修正データを書き込むことも可能です。

システム構成


システム構成図

基本仕様

  • 分解能:0.01mm(チップサイズ2.0mm□以上で実績あり)
  • 表示機能:マップデータ(不良カテゴリー)ウエハ単位の不良数
  • 保存機能:マップデータをテキストファイルにて保存
  • 入力:AC100V

表示画面


画面イメージ

お問い合わせ

製造事業本部 産業事業部 装置設計部
TEL 050-8802-3090


メールフォームへでのお問い合わせ

このページの先頭へ