EXMシリーズ(メタルタイプ)


特 長


●昇温率90%以上の高性能
新開発の高熱伝導材封入法とジグザグ構造(特許出願中)の相乗効果によりガス流量: 1~300L/min、設定温度:室温+10~300℃すべての領域で昇温率90%以上。最高水準の昇温率を実現。
昇温率 = 流体昇温開始後30min経過後の出口温度 / 設定温度 × 100

●低圧力損失
流体経路は圧力損失を最小限抑え乱流を最大限に発生させる構造を採用。
300L/minで0.12Mpa(EX-300M)

●クリーン&耐腐食性
流体接触部にはSUS316L材を使用、更にオプションにて電解研磨(SEP)を採用することにより高いクリーン度と耐腐食性を保有。

●幅広い使用レンジ
1~10L/min:300℃のEX-010Mから300L/min:300℃のEX-300Mまで3機種のバリエーションをラインナップ。

●コンパクト&省電力
EX-010Mにて本体ブロックの小型化(50mm×50mm)と高熱効率化を実現。


使用例


半導体製造工程においてプロセスガスの加熱、また加熱窒素を利用した排気管内の閉塞防止に有効です。その他、水分除去、乾燥などにも利用できます。



コンパクトサイズの熱交換器
EX-010Mはその小ささを活かし、装置の間の狭いスペースに設置することが可能です。
対象装置の間近に設置することで経路を短縮でき、放熱ロスの低減に有効です。



流量・温度特性



ヒータ応答性反応データ


EX-010Mにおいては、ヒータの加熱を停止すると出口ガス温度もすぐに下がり始めます。再びヒータの加熱を開始すると たちまちにガスの温度が上昇するというように温度の応答性が早いという特徴があります。



ラインナップ



仕 様




お問い合わせ


製造事業本部 計器・産業事業部 産業システム部
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